为了消除或减轻硅片氧化后的辊道印问题，我公司开发了一种消除辊道印的装置，配合我司的微孔陶瓷布气臭氧设备一起使用，可有效消除辊道印。

                                            消除辊道印的装置
    我公司还可根据客户需求提供单独臭氧设备部件定制服务，如微孔陶瓷匀流布气装置（适用于五道、八道、十道刻蚀机）、臭氧发生器模组、环境臭氧浓度检测仪等。