金晟阳光抗PID用微孔陶瓷布气臭氧设备由微孔陶瓷匀流布气装置和臭氧机组成,可适用于常规电池产线的5道、8道和10道刻蚀机。
多通道微孔陶瓷布气装置由均匀分布的无限个微孔布气,与传统塑料打孔的布气板(布气孔不连续、间隔分布)相比,布气更加均匀、无死角。
微孔陶瓷在臭氧环境下长期使用不老化,不影响布气效果。臭氧机使用紫外法臭氧检测仪,与化学法检测仪相比,检测数据准确、稳定、无衰减、使用寿命长。
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