陶瓷辊道式扩散炉

采用高纯空心陶瓷辊水平传输硅片，并通过空心陶瓷辊向炉内连续地通入高纯氮气等保护气体，在硅片周围形成一个超净环境，实现了洁净环境条件下太阳电池扩散工艺的连续化作业；解决了管式扩散炉不能连续化生产以及链式扩散炉金属网带污染电池片的问题。

N型高效太阳能电池采用传统的管式扩散存在“绕渡”问题，需要对另一面进行严密的防护及后续处理，工艺繁琐，并且“绕渡”现象很难彻底消除。采用金晟阳光辊道式水平扩散后，可以实现双面扩散，有效解决“绕渡”现象，可以简化工艺、实现规模化生产。

管式扩散炉、链式扩散炉、辊式扩散炉性能特点对比

项  目	管式间歇扩散炉	链式连续扩散炉	辊道式连续扩散炉
工作原理
	使用电阻丝加热石英管及三氯氧磷气体、垂直扩散，间歇式生产，不能连续生产。	不锈钢网带扩散炉传输硅片，使用磷酸水平扩散，连续生产，因金属网带对硅片有污染，电池效率低。	陶瓷辊道传输硅片并通入高纯气体保护形成洁净环境，使用磷酸或磷墨、水平扩散，在超净条件下连续生产。
电池效率	电池效率高	比管式炉低0.1-0.3%的绝对值	电池效率高
能耗	能耗高	能耗高	能耗低
扩散方阻	扩散方阻偏差大，不容易生产方块电阻在100Ω/□以上的大方阻电池	可生产方块电阻在100Ω/□以上的大方阻电池，且均匀性好	可生产方块电阻在100Ω/□以上的大方阻电池，且均匀性好
大尺寸电池	不能扩散210*210mm2大尺寸电池	可以扩散210*210mm2大尺寸电池	可以扩散210*210mm2大尺寸电池
双面电池	不能同时生产P/N型双面电池	不能同时生产P/N型双面电池	可同时生产P/N型双面电池
SE功能	无	无	附加的SE功能可同时完成SE扩散