传统的PERC电池，是通过在电池背面生成一层AL₂O₃或SiO₂膜进行钝化，这种钝化工艺存在着工艺难度大、运行成本高、设备昂贵等缺点。

中科院微电子所开发了一种新型的PERC电池钝化技术，利用低成本的陶瓷辊道式热处理设备及配套工艺，在电池的背面形成一种特殊结构，利用结构改性钝化来代替传统的氧化物膜钝化。这种结构改性钝化的新型PERC电池，可以在传统生产线基础上添加一种陶瓷辊道式热处理设备和清洗腐蚀设备来完成，具有效率高，成本低等特点。